研究方向
研究簡介
研究方向
   硬質薄膜
   透明導電膜
   其他功能性薄膜
   CIGS太陽能電池
   燃料電池
   鋰電池
   銀合金
研究計畫
研究簡介 

薛富盛實驗室之研究工作係基植於材料科技之開發與應用,研究方向如左列表所示,其中最具代表性之學理創新及應用技術突破可分為五大類:

(1)先進燃料電池膜電極組製備技術:本實驗室將直流磁控濺鍍技術導入於燃料電池膜電極組,分別將TiVCr儲氫合金、Ti金屬及ZnO金屬氧化物鍍著於膜電極組之陽極氣體擴散層,藉由鍍膜材料本身之特性與特殊微結構,改善膜電極組之物理性質與化學性質,進而提升電池之發電效率、耐久性及高溫水管理能力

(2)TiVCr基高熵合金及其氮化物:開發成功硬度達48 GPa多元合金TiVCrZrHf氮化物薄膜,其硬度接近超硬薄膜cubic-BN(50 Gpa),是目前文獻報導中最高硬度之多元高熵合金氮化物薄膜;此薄膜用於半導體金屬化之銅製程,其擴散阻障溫度可達800,超越目前半導體產業界所使用之TaN(700),未來產業應用潛力高;此研究成果所發表之SCI期刊論文中的一篇,獲選為2011ESI (Essential Science Indicators)材料領域Hi-Ci論文;

(3)薄膜與鍍膜技術:首先以穿透式電子顯微鏡分析,證明陰極電弧沈積鍍膜技術中微粒形成的機制,提出如何利用中介層(interlayer)改善鍍膜附著性之實驗及氮化物鍍膜之微結構與機械性質、腐蝕性質的關係;

(4)
開發銀(Ag)合金導線取代傳統電子構裝用金導線,提出以鈀(Pd)金屬解決銀鋁(Ag-Al)交互擴散之學理機制;

(5)
金屬與陶瓷界面差排結構與界面機械性質量測,提出以週期性斷裂法量測界面極限剪應力的方法,對薄膜與鍍膜界面機械性質量測有重大的貢獻。